패스박스용 인터록 장치(interlock apparatus for a pass box)

(19)대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(51) 。Int. Cl.7
H01L 21/00
(45) 공고일자
(11) 등록번호
(24) 등록일자
2005년05월24일
10-0491217
2005년05월16일
(21) 출원번호 10-2003-0008611 (65) 공개번호 10-2004-0072949
(22) 출원일자 2003년02월11일 (43) 공개일자 2004년08월19일
(73) 특허권자 박병덕
서울 종로구 창신2동 665-1
(72) 발명자 박병덕
서울 종로구 창신2동 665-1
(74) 대리인 이대선
심사관 : 김교홍
(54) 패스박스용 인터록 장치
요약
본 발명은 구조가 간단하여 고장 발생률이 줄어들고 코스트 또한 절감될 수 있도록 된 패스박스용 인터록 장치에 관한 것
이다.
본 발명에 따르면, 청정실과 비청정실을 구획하는 벽체(5)에 설치되며 그 전후방에는 그 일측의 힌지결합부를 중심으로
회동 개폐되는 전후방도어(10, 15)가 각각 설치된 패스박스에 있어서, 상기 전후방도어(10, 15)의 자유단에 패스박스의 내
부를 향해 돌출 설치되며 그 둘레부 일측면에는 걸림턱(30)이 형성된 한 쌍의 후크핀(25)과, 그 내부에 각각의 후크핀(25)
이 삽입되는 삽입공(46)이 수평 방향으로 관통 형성되고 이 삽입공(46)과 교차되는 방향으로 슬라이드홈(48)이 형성되어
상기 패스박스의 내벽면에 각각 설치된 한 쌍의 프레임(40)과, 상기 슬라이드홈(48)에 전후진 가능하게 설치되며 그 선단
부가 상기 후크핀(25)의 걸림턱(30)에 걸려지도록 스프링(57)에 의해 탄지되는 키이블록(55)과, 이 키이블록(55)과 교차
되는 방향으로 전후진 가능하도록 상기 프레임(40)에 설치되며 그 선단부에는 상기 키이블록(55)을 후퇴되는 방향으로 가
압하는 경사면(68)이 형성되어 스프링(72)에 의해 후퇴되는 방향으로 탄지되는 한 쌍의 제1 푸시로드(65)와, 각각의 프레
임(40)에 형성된 삽입공(46)에 상기 후크핀(25)의 반대편으로 삽입되어 이 후크핀(25)에 맞닿아 전후진되는 한 쌍의 제2
푸시로드(80)와, 일측 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)와 제2 푸시로드(80)를 타측 프레임(40)의 제2 푸시로드(80)와 제1
푸시로드(65)에 교차되도록 연결하는 한 쌍의 연결로드(95)를 포함하여 구성되며, 어느 하나의 도어(10)가 개방되어 이 도
어의 후크핀(25)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈됨에 따라 반대편 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)가 스프링
(72)의 탄성력에 의해 내측으로 후퇴되면서 키이블록(55)이 전진되어 반대편 도어(15)에 고정된 후크핀(25)의 걸림턱(30)
에 걸려지도록 된 것을 특징으로 하는 패스박스용 인터록 장치가 제공된다.
대표도
도 1
명세서
도면의 간단한 설명
도 1은 본 발명에 의한 패스박스용 인터록 장치의 구성을 도시한 측단면도
도 2는 도 1의 A-A 단면도
도 3은 도 1의 패스박스의 일측 도어가 개방된 상태의 측단면도
등록특허 10-0491217
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도 4는 도 3의 A-A 단면도
도 5는 본 발명의 주요부의 확대도
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10. 전방도어 15. 후방도어
25. 후크핀 30. 걸림턱
40. 프레임 46. 삽입공
48. 슬라이드홈 55. 키이블록
65. 제1 푸시로드 80. 제2 푸시로드
95. 연결로드
발명의 상세한 설명
발명의 목적
발명이 속하는 기술 및 그 분야의 종래기술
본 발명은 패스박스용 인터록 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구조가 간단하여 고장 발생률이 줄어들고 코스트
또한 절감될 수 있도록 된 패스박스용 인터록 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 고도로 청정화된 에어를 제공하는 청정실 내에서 제조된다. 이러한 청정실은 세균이나 분진
등이 유입되지 않도록 관리하는 것이 매우 중요하며, 일단 청정실 내로 세균이나 분진 등이 유입되면, 이러한 세균 등이 공
정중의 웨이퍼에 나쁜 영향을 끼쳐 반도체 장치의 에러 등이 유발된다.
한편, 상기 청정실로 반도체 공정에 필요한 각종 물품들이 반입되어야 하는 경우가 많이 있는데, 이러한 경우 통상 패스
박스(Pass Box)가 이용된다. 이러한 패스박스는 청정실과 비청정실을 구획하는 벽체에 설치되며 그 전후방에는 그 일측
의 힌지결합부를 중심으로 회동 개폐되는 전후방도어가 각각 설치되고, 그 중앙부 소정 위치에는 물품의 청정화를 위한 프
레시에어 인입구와 프레시에어 인출구 등이 구비되어, 그 내부에 청정실로 이송하고자 하는 물품을 투입하고, 상기 프레시
에어 인입구와 인출구를 통하여 프레시한 에어를 분사함으로써, 물품을 소독하거나 분진을 제거하는 등의 청정화 작업을
수행한다.
이때, 상기 패스박스의 내부로 투입된 물품을 청정화시키는 동안 비청정실의 공기가 청정실의 공기를 오염시키는 것을
방지하기 위하여, 상기 비청정실 쪽의 도어(즉, 전방도어)가 열려지면, 상기 청정실 쪽의 도어(즉, 후방도어)가 개방될 수
없는 록킹 상태로 되어야 할 필요가 있다. 이에 따라, 어느 하나의 도어가 개방 상태로 되면 다른 하나의 도어가 록킹 상태
로 되도록 하기 위한 인터록 장치가 적용되고 있다.
그런데, 상기 패스박스용 인터록 장치는 상기 전후방 도어 중에서 어느 하나의 도어가 개방된 상태이면, 다른 하나의 도
어는 폐쇄된 상태로 유지하기 위해 별도의 전기 전자 장치와 제어부 또는 유압수단 등이 구비되어야 하기 때문에, 그 구조
가 복잡하고 고장 발생이 잦음은 물론, 그 수명이 줄어들고, 제작 코스트 또한 높아지는 문제점이 있다. 이에 따라, 구조가
간단하여 고장 발생률이 줄어들고 그 코스트 또한 낮출 수 있도록 된 인터록 장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.
발명이 이루고자 하는 기술적 과제
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점에 착안하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 그 구조가 간단하여 고장 발생률이
줄어들고 수명이 연장되며, 그 코스트 또한 절감될 수 있도록 된 새로운 구성의 패스박스용 인터록 장치를 제공하고자 하
는 것이다.
발명의 구성 및 작용
본 발명에 따르면, 청정실과 비청정실을 구획하는 벽체(5)에 설치되며 그 전후방에는 그 일측의 힌지결합부를 중심으로
회동 개폐되는 전후방도어(10, 15)가 각각 설치된 패스박스에 있어서, 상기 전후방도어(10, 15)의 자유단에 패스박스의 내
부를 향해 돌출 설치되며 그 둘레부 일측면에는 걸림턱(30)이 형성된 한 쌍의 후크핀(25)과, 그 내부에 각각의 후크핀(25)
이 삽입되는 삽입공(46)이 수평 방향으로 관통 형성되고 이 삽입공(46)과 교차되는 방향으로 슬라이드홈(48)이 형성되어
상기 패스박스의 내벽면에 각각 설치된 한 쌍의 프레임(40)과, 상기 슬라이드홈(48)에 전후진 가능하게 설치되며 그 선단
부가 상기 후크핀(25)의 걸림턱(30)에 걸려지도록 스프링(57)에 의해 탄지되는 키이블록(55)과, 이 키이블록(55)과 교차
되는 방향으로 전후진 가능하도록 상기 프레임(40)에 설치되며 그 선단부에는 상기 키이블록(55)을 후퇴되는 방향으로 가
압하는 경사면(68)이 형성되어 스프링(72)에 의해 후퇴되는 방향으로 탄지되는 한 쌍의 제1 푸시로드(65)와, 각각의 프레
임(40)에 형성된 삽입공(46)에 상기 후크핀(25)의 반대편으로 삽입되어 이 후크핀(25)에 맞닿아 전후진되는 한 쌍의 제2
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푸시로드(80)와, 일측 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)와 제2 푸시로드(80)를 타측 프레임(40)의 제2 푸시로드(80)와 제1
푸시로드(65)에 교차되도록 연결하는 한 쌍의 연결로드(95)를 포함하여 구성되며, 어느 하나의 도어(10)가 개방되어 이 도
어의 후크핀(25)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈됨에 따라 반대편 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)가 스프링
(72)의 탄성력에 의해 내측으로 후퇴되면서 키이블록(55)이 전진되어 반대편 도어(15)에 고정된 후크핀(25)의 걸림턱(30)
에 걸려지도록 된 것을 특징으로 하는 패스박스용 인터록 장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 4는 본 발명에 의한 패스박스용 인터록 장치의 일 실시예를 도시한 것이고, 도 5는 본 발명에 의한 인터록
장치의 확대도이다. 이를 참조하면, 상기 패스박스용 인터록 장치는 패스박스의 전후방도어(10, 15)의 자유단에 설치되는
한 쌍의 후크핀(25)과, 상기 패스박스의 내벽면에 설치된 한 쌍의 프레임(40)과, 이 프레임(40)에 설치되는 키이블록(55)
과, 이 키이블록(55)의 직각 방향으로 전후진 가능하게 설치되는 제1 푸시로드(65)와, 상기 후크핀(25)에 맞닿아 전후진되
도록 상기 프레임(40)의 내부에 설치된 한 쌍의 제2 푸시로드(80)와, 상기 제1 및 제2 푸시로드(80)를 교차되도록 연결하
는 한 쌍의 연결로드(95)로 구성된다.
상기 후크핀(25)은 그 기단부가 상기 전후방도어(10, 15)의 자유단 내벽면에 고정되어 그 선단부가 상기 패스박스의 내
부를 향하여 돌출된 것으로, 그 선단부의 둘레면 일측에는 걸림턱(30)이 형성되어 있다. 이러한 걸림턱(30)에는 후술할 키
이블록(55)의 선단부가 결합되도록 되어 있다. 상기 패스박스의 일측 내벽면에는 대략 단면 직사각형의 브라켓(3)이 수직
방향으로 고정 설치되고, 이 브라켓(3)의 전후방 벽면에는 상기 한 쌍의 프레임(40)이 각각 서로 마주보도록 설치되어 있
다.
상기 프레임(40)은 상기 브라켓(3)의 전후방 벽면에 밀착 고정된 수직부(41a)와, 이 수직부(41a)의 상하단부 내측면에
직각 방향으로 연장된 제1 수평부(43a)와 제2 수평부(44a)로 구성된다. 그리고, 상기 제1 수평부(43a)의 상측면에는 그
중앙에 관통공(47a)이 형성된 한 쌍의 가이드부(47)가 소정 간격 이격되도록 형성된다. 상기 제1 수평부(43a)의 중앙에는
수평 방향으로 삽입공(46)이 관통 형성되어, 이 삽입공(46)에 상기 전후방도어(10, 15)에 고정된 후크핀(25)의 선단부가
삽입된다. 그리고, 상기 삽입공(46)에는 상기 후크핀(25)의 반대 방향으로 후술할 제2 푸시로드(80)가 삽입되어 이 후크핀
(25)과 맞닿아 전후진된다. 또한, 상기 프레임(40)의 수직부(41a)에는 상기 삽입공(46)과 직각 방향으로 슬라이드홈(48)
이 관통 형성되어, 이 슬라이드홈(48)에 키이블록(55)이 전후진 가능하게 설치된다.
상기 키이블록(55)은 상기 프레임(40)의 슬라이드홈(48)에 전후진 가능하게 삽입되는 것으로, 그 내측면에는 사각 블록
형상의 내향돌출턱(56a)이 구비된다. 이러한 키이블록(55)은 그 내향돌출부(55a)의 상단부와 상기 제2 수평부(44a) 사이
에 개재된 스프링(57)에 의해 탄지되어 그 선단부의 일부가 상기 삽입공(46)의 수직 방향으로 돌출된다. 이와 같이, 상기
프레임(40)의 삽입공(46)에 상기 키이블록(55)의 선단부가 돌출되어 상기 후크핀(25) 둘레부의 걸림턱(30)에 걸려진다.
또한, 상기 키이블록(55)의 내향돌출부(55a)의 하단부에는 상기 프레임(40)의 제1 수평부(43a)에 구비된 제1 푸시로드
(65)의 선단부가 접촉된다. 상기 제1 푸시로드(65)는 상기 프레임(40)의 제1 수평부(43a)의 상측으로 연장된 한 쌍의 가이
드부(47)의 관통공(47a)에 끼워져 수평 방향으로 전후진 가능하게 결합된 것으로, 상기 프레임(40)의 제1 수평부(43a)에
형성된 삽입공(46)과 나란한 방향으로 전후진된다. 이러한 제1 푸시로드(65)의 선단부에는 외측으로 갈수록 상향 경사진
경사면(68)이 형성되고, 이 경사면(68)은 상기 키이블록(55)의 내향돌출부(55a) 상단부에 접촉된다. 이에 따라, 상기 제1
푸시로드(65)가 프레임(40)의 외측 방향으로 전진함에 따라 상기 키이블록(55)의 선단부가 상기 삽입공(46)으로부터 내측
으로 후진하여, 상기 후크핀(25)의 걸림턱(30)으로부터 이탈된다.
또한, 상기 제1 푸시로드(65)의 중앙부에는 볼트(67a)가 구비되고, 이 볼트(67a)와 상기 제1 수평부(43a)의 가이드부
(47) 중에서 상기 키이블록(55)의 내향돌출부(55a)와 인접된 가이드부(47)와 상기 볼트(67a) 사이에는 스프링(72)이 개재
된다. 이에 따라, 상기 스프링(72)에 의해 상기 제1 푸시로드(65)가 탄지되어 상기 프레임(40)의 내측 방향으로 후퇴된다.
이러한 제1 푸시로드(65)는 상기 한 쌍의 프레임(40)에 각각 설치되어, 그 기단부가 서로 마주보도록 되어 있다.
상기 제2 푸시로드(80)는 상기 한 쌍의 프레임(40)에 각각 형성된 삽입공(46)에 상기 후크핀(25)의 반대편으로 삽입된
것으로, 그 선단부가 상기 후크핀(25)의 선단부와 맞닿아, 상기 후크핀(25)이 전후진됨에 따라 상기 삽입공(46)의 내부에
서 수평 방향으로 전후진된다. 이러한 제2 푸시로드(80)는 한 쌍으로 이루어져 그 기단부가 서로 마주보도록 상기 프레임
(40)의 삽입공(46)에 삽입된다.
상기 연결로드(95)는 상기 전방도어(10)측의 제1 푸시로드(65)와 제2 푸시로드(80)를 후방도어(15)측의 제2 푸시로드
(80)와 제1 푸시로드(65)를 교차되도록 연결한다. 다시 말해서, 상기 연결로드(95)는 그 일단부가 상기 전방도어(10)측의
프레임(40)에 설치된 제1 푸시로드(65)에 연결되고 타단부는 상기 후방도어(15)측의 프레임(40)에 설치된 제2 푸시로드
(80)에 연결되는 제1 연결로드(95a)와, 그 일단부가 상기 전방도어(10)측의 프레임(40)에 설치된 제2 푸시로드(80)에 연
결되고 타단부는 상기 후방도어(15)측의 프레임(40)에 설치된 제1 푸시로드(65)에 연결된 제2 연결로드(95b)로 구성된
다.
이하, 도면을 참조하여 상기 패스박스용 인터록 장치의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 전후방도어(10, 15)가 모두 닫혀져 상기 한 쌍의 후크핀(25)이 상기 프레임(40)의 삽입공(46)에 삽입된 상태
이면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 전방도어(10)측의 제2 푸시로드(80)가 프레임(40)의 삽입공(46)을 따라 내측으로 후
진하면서 상기 제1 연결로드(95a)에 의해 연결된 후방도어(15)측 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)를 후방도어(15)를 향하
여 전진시킨다. 이와 같이, 상기 후방도어(15)측의 프레임(40)에 설치된 제1 푸시로드(65)가 후방도어(15) 방향으로 전진
함에 따라 키이블록(55)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈되므로, 상기 후방도어(15)에 설치된 후크핀(25)의 걸림
턱(30)으로부터 상기 키이블록(55)의 선단부가 이탈된다. 다른 한편으로, 상기 후방도어(15)측 프레임(40)의 제2 푸시로
드(80)가 이 후방도어(15)에 설치된 후크핀(25)에 의해 눌려 내측으로 후진하면서 상기 제2 연결로드(95)에 의해 연결된
전방도어(10)측 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)를 이 전방도어(10) 방향으로 전진시킨다. 이와 같이, 상기 전방도어(10)
측의 프레임(40)에 설치된 제1 푸시로드(65)가 전진함에 따라 키이블록(55)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈되
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므로, 상기 전방도어(10)에 설치된 후크핀(25)의 걸림턱(30)으로부터 상기 키이블록(55)의 선단부가 이탈된다. 결국, 상기
전후방도어(10, 15)가 모두 닫혀있는 상태가 되면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 키이블록(55)의 선단부가 모두
상기 전후방도어(10, 15)에 설치된 후크핀(25)의 걸림턱(30)으로부터 이탈되는 록킹 해제 상태가 된다.
이처럼 상기 전후방도어(10, 15)가 록킹 해제된 상태에서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 전방도어(10)를 개방하
여 이 전방도어(10)의 후크핀(25)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈되도록 하면, 상기 후방도어(5) 쪽에 설치된 프
레임(40)의 제1 푸시로드(65)가 스프링(57)의 탄성력에 의해 이 후방도어(5)의 반대 방향으로 후퇴되면서 이 후방도어
(10, 15) 쪽의 프레임(40)에 설치된 키이블록(55)이 상기 스프링(57)의 탄성력에 의해 프레임(40)의 슬라이드홈(48)을 따
라 전진되면서 상기 삽입공(46)의 일측으로 돌출되어, 상기 후방도어(15)에 고정된 후크핀(25)의 걸림턱(30)에 걸려지므
로, 상기 후방도어(15)가 록킹 상태로 된다. 반대로, 상기 후방도어(15)를 개방하면, 상기와 같은 원리로 상기 전방도어
(10)가 록킹 상태로 된다.
그러므로, 상기 전방도어(10)를 개방하여 상기 패스박스의 내부로 물품을 투입한 다음, 상기 전방도어(10)를 다시 닫으
면, 상기 후방도어(15) 및 전방도어(10)가 록킹 해제 상태로 된다. 이러한 상태에서 상기 패스박스에 투입된 물품이 청정화
된 다음, 상기 후방도어(15)를 개방하면, 상기 전방도어(10)가 록킹 상태가 되며, 이러한 상태에서 패스박스로부터 청정화
된 물품을 꺼내어 청정실로 이송할 수 있다. 그리고, 상기 후방도어(15)가 개방된 상태에서는 상기 전방도어(10)가 록킹 상
태로 되기 때문에, 상기 후방도어(15)가 다시 닫혀지지 않는 이상 전방도어(10)를 개방할 수 없게 된다. 결국, 상기 패스박
스용 인터록 장치는 상기 전후방도어(10, 15) 중에서 어느 하나의 도어(10)가 개방된 상태가 되면 다른 하나의 도어(15)는
록킹 상태로 되어, 상기 전후방도어(10, 15)가 동시에 개방되는 것을 방지하므로, 청정실의 공기가 오염되는 것을 방지할
수 있다.
발명의 효과
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 상기 전후방 도어 중에서 어느 하나의 도어가 개방된 상태이면, 다른 하나의 도어는
폐쇄된 상태로 유지하기 위해 별도의 전기 전자 장치와 제어부 또는 유압수단 등이 구비되지 않아도 되므로, 그 구조가 간
단하여 고장 발생률이 줄어들고 수명이 연장되며, 그 코스트 또한 절감될 수 있도록 된 새로운 구성의 패스박스용 인터록
장치가 제공된다.
(57) 청구의 범위
청구항 1.
청정실과 비청정실을 구획하는 벽체(5)에 설치되며 그 전후방에는 그 일측의 힌지결합부를 중심으로 회동 개폐되는 전후
방도어(10, 15)가 각각 설치된 패스박스에 있어서, 상기 전후방도어(10, 15)의 자유단에 패스박스의 내부를 향해 돌출 설
치되며 그 둘레부 일측면에는 걸림턱(30)이 형성된 한 쌍의 후크핀(25)과, 그 내부에 각각의 후크핀(25)이 삽입되는 삽입
공(46)이 수평 방향으로 관통 형성되고 이 삽입공(46)과 교차되는 방향으로 슬라이드홈(48)이 형성되어 상기 패스박스의
내벽면에 각각 설치된 한 쌍의 프레임(40)과, 상기 슬라이드홈(48)에 전후진 가능하게 설치되며 그 선단부가 상기 후크핀
(25)의 걸림턱(30)에 걸려지도록 스프링(57)에 의해 탄지되는 키이블록(55)과, 이 키이블록(55)과 교차되는 방향으로 전
후진 가능하도록 상기 프레임(40)에 설치되며 그 선단부에는 상기 키이블록(55)을 후퇴되는 방향으로 가압하는 경사면
(68)이 형성되어 스프링(72)에 의해 후퇴되는 방향으로 탄지되는 한 쌍의 제1 푸시로드(65)와, 각각의 프레임(40)에 형성
된 삽입공(46)에 상기 후크핀(25)의 반대편으로 삽입되어 이 후크핀(25)에 맞닿아 전후진되는 한 쌍의 제2 푸시로드(80)
와, 일측 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)와 제2 푸시로드(80)를 타측 프레임(40)의 제2 푸시로드(80)와 제1 푸시로드(65)
에 교차되도록 연결하는 한 쌍의 연결로드(95)를 포함하여 구성되며, 어느 하나의 도어(10)가 개방되어 이 도어의 후크핀
(25)이 프레임(40)의 삽입공(46)으로부터 이탈됨에 따라 반대편 프레임(40)의 제1 푸시로드(65)가 스프링(72)의 탄성력
에 의해 내측으로 후퇴되면서 키이블록(55)이 전진되어 반대편 도어(15)에 고정된 후크핀(25)의 걸림턱(30)에 걸려지도록
된 것을 특징으로 하는 패스박스용 인터록 장치.
도면
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도면1
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도면2
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도면3
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도면4
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도면5
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